如何选择一款好的扩散泵油
扩散泵油对油扩散泵极限压力的影响很大。如使用3号扩散泵油,其极限压力只能达到10-5Pa;而改用275硅油,其极限压力能达到10-7Pa,极限压力提高2个数量级。其次被抽气体的分压力也随泵油的不同而变化,这就是泵油成分带来的影响。为此用油扩散泵获得超高真空,必须选择性能好的扩散泵油。对扩散泵油的要求是:泵油的相对分子量要大,常温下的蒸气压要低,热稳定性和抗氧化性要好,凝固点和低温粘度要低,要无毒,耐腐蚀,成本要低。
现在高真空油扩散泵普遍采用3号扩散泵油,超高真空采用275扩散泵硅油,要求不含碳氢化合物的超高真空系统,扩散泵采用氟油。
归纳起来选择一款好的扩散泵油,需要考虑以下几个关键因素:
极限压力:扩散泵油的极限压力是衡量其性能的重要指标。选择时,应确保油品能够提供所需的真空水平。例如,275硅油因其低蒸气压,可实现更高的极限压力。
蒸气压:油的蒸气压越低,意味着在高温下更少的油分子会蒸发,从而减少对真空系统的污染。
热稳定性:扩散泵工作时温度较高,所以油需要有良好的热稳定性,以防止在高温下分解或形成有害沉积物。
抗氧化性:抗氧化性强的油品可以延长使用寿命,减少因氧化导致的性能下降。
凝固点和低温粘度:在低温环境下仍能保持较低的粘度,保证泵的正常启动和运行。
化学兼容性:泵油应与系统中的材料兼容,避免腐蚀或不良反应。
无毒性和安全性:对于操作人员来说,安全无毒的油品是必要的。
成本效益:虽然高性能的油品可能成本较高,但考虑到长期的效率和维护成本,选择性价比高的产品是明智的。
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